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    [주]파웰 코퍼레이션 뉴스 ㈜파웰 코퍼레이션 2023유망중소기업대상 플라즈마 밀도 측정 센서 장착한 ESC 개발

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    작성자 관리자
    댓글 댓글 0건   조회Hit 492회   작성일Date 23-12-19 16:57

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    [천지일보=박준성 기자] 천지일보(대표 이상면)와 ISO국제심사원협회(공동대표 박명서, 배선장)가 주최한 제8회 2023 대한민국 유망중소기업대상·공공기관대상 시상식이 8일 서울 용산구 KDB생명타워 동자아트홀에서 열린 가운데 ㈜파웰 코퍼레이션 강창수 대표가 반도체 측정용 부품소재 개발 부문 수상을 하고 있다. ⓒ천지일보 2023.12.08.
    [천지일보=김빛이나 기자] 중소기업이 강한 대한민국을 만들기 위한 시상식이 8회차를 맞았다. 천지일보(대표 이상면)와 ISO국제심사원협회(공동대표 박명서, 배선장)는 8일 서울 용산구 KDB생명타워 동자아트홀에서 ‘2023 대한민국 유망중소기업대상·공공기관대상 시상식’을 개최했다.

    이날 시상식에서는 ㈜파웰 코퍼레이션(강창수 대표)이 반도체 측정용 부품소재 개발 부문에서 유망중소기업 대상을 수상했다. ㈜파웰 코퍼레이션은 한국표준과학기술연구원(KRISS)의 플라즈마 측정 기술을 도입해 이를 ESC(정전척)에 결합하는 방식으로 아이디어 상품을 개발하게 됐다.

    정전척은 반도체의 웨이퍼를 수평으로 고정하거나 LCD의 유리 기판을 수평하게 유지하는 데 사용하는 부품이다. 반도체 전공정인 ETCHER공정에서는 플라즈마의 밀도가 공정 생산 수율의 중요한 요소가 된다.

    파웰 코퍼레이션에서 개발한 PDS ESC는 공정을 진행하는 상황에서도 플라즈마의 밀도를 확인해 공정 조정을 할 수 있는 특장점을 가졌다. 97% 이상의 측정 정밀도를 가지고 있어 경쟁라인에서 독보적이라는 평가를 받는다.

    PDS ESC를 활용하면 24시간 가동되는 반도체 생산라인의 프론트 공정에서 안정적인 품질의 공정을 진행해 라인의 멈춤 없이 실시간으로 공정 관리를 할 수 있어 생산 수율 향상과 생산 원가 절감 효과를 볼 수 있다. 


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    [천지일보=박준성 기자] 천지일보(대표 이상면)와 ISO국제심사원협회(공동대표 박명서, 배선장)가 주최한 제8회 2023 대한민국 유망중소기업대상·공공기관대상 시상식이 8일 서울 용산구 KDB생명타워 동자아트홀에서 열린 가운데 ㈜파웰 코퍼레이션 강창수 대표가 반도체 측정용 부품소재 개발 부문 수상을 하고 있다.


    ⓒ천지일보 2023.12.08.

    출처 : 천지일보(https://www.newscj.com)

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