정전척(Electro Static Chuck) 전문기업 파웰 코퍼레이션은 '제54회 과학의 날'을 맞아 과학기술진흥으로 국가 발전에 이바지한 공로를 인정받아 강창수 대표가 과학기술정보통신부 장관 표창을 수상했다고 27일 밝혔다.

강창수 대표는 1999년부터 현재까지 20년이 넘는 기간 동안 기업을 경영하면서 반도체 전공정에 사용되는 정전척 개발과 전문 인력 육성에 앞장서 왔다.

특히, 반도체 제품 생산성 안정화를 위해 진공 챔버 핵심 부품인 정전척의 소재 개발을 꾸준히 연구하고 있다. 정전척은 정전기의 힘을 사용해 기판을 하부 전극에 고정해 주는 핵심부품으로 반도체 웨이퍼를 수평으로 고정하거나 LCD 유리 기판을 수평하게 유지하는 데 주로 사용한다.

강 대표는 평판디스플레이(FPD)·모바일 생산용 정전척도 주요 소재를 변경해 평판디스플레이 생산성 향상에도 기여한 바 있다. 이와 관련 '마스크 제어가 가능한 정전척'이란 특허를 비롯해 9개의 특허를 등록하는 등 꾸준히 연구를 계속하고 있다.

이외에도 2015년부터 반도체 장비, 디스플레이 장비에 고장 예지 기술(Prognostics and Health Management)을 접목하는 독일기업과 파트너십을 맺고, 국내 고객과 협업을 통해 신비즈니스 모델을 구축하고 있다.

강창수 대표는 “장관상 수상은 전 직원의 꾸준한 연구개발이 이룩해 낸 성과”라며 “여기에서 멈추지 않고, 앞으로도 정전척 분야에서 반도체 산업에 이바지 할 수 있도록 최선을 다하겠다”고 밝혔다.

안수민기자 smahn@etnews.com