[천지일보=이우혁 기자] ㈜파웰코퍼레이션이 13일 오후 천지일보(이상면 대표)와 ISO국제심사원협회(공동대표 배상현, 배선장)에서 주최하는 제9회 ‘2024 대한민국 유망중소기업·ESG·공공기관대상’ 시상식에서 AI 반도체 제조장치용 소부장 부문을 수상했다. 해당 업체는 5년 연속으로 상을 수상했다. 이날 시상식에선 강창수 대표를 대리해 조동규 이사가 수상했다.

㈜파웰코퍼레이션(대표 강창수, 이명화)은 반도체와 디스플레이 장치·부품을 전문으로 하는 기업으로, 정전척(ESC) 제품의 양산 공급을 통해 반도체 공정 기술의 핵심적인 역할을 담당하고 있다. 

ESC는 진공 챔버 내에서 반도체 생산을 위한 실리콘 웨이퍼(Si Wafer)를 고정시키는 장치로, 반도체 건식식각 공정에서 필수적으로 사용된다. 파웰은 이러한 ESC 제품을 지속적으로 업그레이드하고, 반도체 ETCHER, CVD 공정에 사용할 수 있는 ‘플라즈마 밀도 측정 솔루션’과 이를 적용하는 하드웨어 부품을 개발하고 있다. 

㈜파웰코퍼레이션은 또한 반도체, 디스플레이, 이차전지 제조 공정에 필수적인 에어 베어링 롤러(ABR)와 석션 롤러(SR)도 개발 및 생산하고 있다. 고순도 카본 소재로 제작된 이 제품들은 웨이퍼나 글래스를 진공으로 흡착하거나 비접촉 방식으로 이동시키는 역할을 한다. 

특히 ABR과 SR은 기존 롤러를 대체할 차세대 제품으로, 얇은 필름 재료 이송 시 발생할 수 있는 손상, 오염, 스크래치 등을 최소화해 이차전지 제조 및 필름 생산 기업들에 널리 사용되고 있다.

㈜파웰코퍼레이션은 또한 절연 게이트 양극성 트랜지스터(IGBT)용 다이렉트 본드 구리 모듈(DBC) 접합 기술 개발에도 힘쓰고 있다.

강창수 대표는 “파웰은 반도체 전공정 기술을 넘어 다른 산업 분야에도 기술력을 접목하고자 한다”며 “첨단 기술 개발을 통해 산업 전반은 물론 일상생활의 편리함까지 제공하는 기업으로 성장해 나가겠다”고 밝혔다.

출처 : 천지일보(https://www.newscj.com)