1999년 IMF 외환위기 속에서 설립된 파웰코퍼레이션은 사업 초기 삼성전자와 3년 이상 세라믹 정전척 개발 설계에 참여하며 성장 발판을 다졌다. 파웰코퍼레이션의 주력 제품이 정전기를 활용해 웨이퍼를 물리적인 손상 없이 고정해주는 핵심 부품인 정전척인 이유다.

현재는 일반 반도체, 2차전지, 전력 반도체 등의 사업 부문을 운영 중이며, 이 중 ESC가 전체 매출의 60~70%를 차지하는 주력 품목이다.

ESC는 반도체 장비 내 진공 상태에서 웨이퍼를 정전기력으로 고정하는 부품으로, 알루미늄 베이스와 세라믹 플레이트로 구성된다. 최근에는 공정 정밀도 향상을 위해 히터를 포함한 멀티존 ESC 수요가 증가하고 있으며, 파웰은 이에 맞춘 고기능 ESC 제품을 공동 개발하고 있다.

파웰 코퍼레이션 강창수 대표는 “최근 고객들은 웨이퍼의 엣지까지 온도를 정밀하게 제어해 달라는 요구가 많아 이에 대응해 복잡한 전극 설계와 열제어 기능을 갖춘 제품을 공급 중”이라고 설명했다.

파웰은 플라스마 밀도를 실시간(On-Time) 측정할 수 있는 ‘PDS ESC’도 세계 최초로 개발했다. 기존에는 챔버를 열어야 측정이 가능했지만, 이 제품은 공정 중에도 내부 플라스마 상태를 센터·미들·엣지별로 실시간 진단할 수 있다. 현재 시제품 개발을 완료하고 양산 적용을 준비 중이다.

이외에도 전력반도체용 구리 기반 DACP(Die Attach Copper Paste), 2차전지용 공중부양 롤러(ABR, SR) 등의 제품도 개발하고 있다. DACP는 고가의 실버를 대체하는 소재로 IGBT, SiC 기반 전력 반도체에 대응하고 있으며, ABR은 배터리 장비 내 소재 손상을 줄이는 기술로, 국내 주요 배터리 기업과 평가를 진행 중이다.

회사는 최근 ESC 제작에 필요한 본딩 소재 업체도 인수하며, 소재부터 부품까지 기술 내재화를 가속화하고 있다. HBM(고대역폭 메모리) 패키징과 관련한 세라믹 히터, 글라스 가공 부품도 준비 중이다.

매출은 2021년 260억 원, 2022년 400억 원으로 증가했다가 2023년 반도체 투자 위축으로 206억 원으로 줄었지만, 25억 원의 영업이익을 유지했다. 파웰은 2027~2028년 매출 1,000억 원을 목표로 삼고 있으며, 2030년 이전 상장도 검토하고 있다.

강 대표는 “기술 없이는 성장도 없지만, 노력한 만큼 반드시 보상이 온다”며, “고객 만족을 중심 가치로 삼고 더 높은 곳을 향해 도전하겠다.”고 밝혔다.

- 파웰 코퍼레이션은 언제 설립된 회사입니까?

“파웰 코퍼레이션은 1999년에 창립됐습니다. 그 당시가 바로 IMF 외환위기 시절이어서 대한민국 전체가 굉장히 어려운 시기였습니다. 하지만 더이상 내려갈 곳은 없다는 생각으로, 다시 한번 힘차게 도약해보자는 의미에서 ‘파워 웰(Power Well)’이라는 슬로건을 내걸고 회사를 시작하게 됐습니다.”

- 주요 매출 품목은 무엇이고 어떤 영역에서 사업을 하고 계십니까?

“현재 세 가지 주요 사업 부문을 운영하고 있습니다. 반도체 부문, 2차전지 부문, 그리고 전력 반도체 부문인데요. 주된 매출은 반도체 장비에 들어가는 정전척, 즉 ESC(Electrostatic Chuck)라든가 히터, 세라믹 관련 부품에서 발생하고 있습니다. 2차전지 쪽은 잘 아시다시피 롤투롤 장비에 들어가는 롤러를 중심으로 사업을 전개하고 있고요, 전력 반도체 분야에서는 DACP(Die Attach Copper Paste)를 비롯해, 카파(Copper. 구리) 소재를 활용한 다양한 애플리케이션으로 매출을 올리고 있습니다.”

- 말씀하신 세 사업 부문 중에서 매출이 가장 큰 부문은 어디입니까?

“저희 회사가 가장 오랜 기간 다루어온 아이템은 세라믹입니다. 그리고 이 세라믹이 주로 사용되는 분야가 바로 정전척이다 보니, 자연스럽게 일반 반도체 부문, 특히 정전척이 저희의 주력 매출 품목이라고 할 수 있습니다. 현재 회사 전체 매출의 60%에서 많게는 70%까지 정전척이 차지하고 있습니다.”

- 그러면 나머지 30~40%는 전력 반도체와 배터리 부문에서 나오는 것일 텐데요, 두 부문은 매출 비중이 비슷합니까?

“20%씩으로 비슷하다고 보시면 될 것 같습니다.”

- 일반 반도체 부문 내에서도 히터와 ESC, PDS 센서(Plasma Density Sensor, 플라스마 밀도 센서) 같은 제품이 있던데요, 우선 ESC는 어떤 용도로 쓰이는 제품입니까?

“ESC는 반도체 장비 내 진공 챔버에서 웨이퍼를 파지하기 위해 쓰이는 부품입니다. 구조는 알루미늄 베이스와 세라믹 플레이트, 이렇게 두 가지로 구성돼 있습니다. 쉽게 설명해 드리면, 예전에 학교 다닐 때 책받침을 옷에 문지르면 머리카락이 달라붙는 정전기 현상이 나타나는데요. 그것처럼 세라믹에 전기를 가하면 유전율이 변하면서 플러스와 마이너스 전하가 생기고, 그 힘으로 웨이퍼를 잡아주게 됩니다. 이렇게 웨이퍼를 잡는 것을 컨벤셔널 ESC라고 하고요, 최근 들어서는 고객들이 전극수가 많은 멀티존, 슈퍼 멀티존 제품을 요청해서 공동 개발을 하고 있습니다. 최근 시장에서 이런 제품의 니즈가 많아지고 있습니다.”

- 컨벤셔널 ESC와 전극수가 많은 것에는 어떤 차이가 있습니까?

“컨벤셔널 ESC는 보통 히터가 없는 타입이고, DC 전극만 들어가는 단순한 구조의 제품이라고 보시면 됩니다. 반면에 멀티존 ESC는 DC 전극뿐 아니라 히터 전극도 함께 들어가 있어서, 일종의 하이브리드 형태라고 할 수 있습니다. 전극 ?