반도체 사업
주요 사업내용을 안내해드립니다.
특징
- 폭넓은 온도영역과 충분한 흡착력 확보
- 커스터머 맞춤 제작/히터 설계
- 전극의 열화에 의한 경시변화 없음
- 세라믹 중공 구조와 세라믹스 회전축 대응 가능
제품 용도/사양
- 용도 : Semiconductor / PVD
- ESC Size : 4” ~ 12”
AIN Heater
특징
- 높은 열 전도율의 AlN 사용하여 뛰어난 온도 균일성
- IR 카메라 및 TC 웨이퍼를 통한 특성검사 시설 보유
제품 용도/사양
- 용도 : Semiconductor / CVD / etc
- Size : 4” ~ 12”
