반도체 사업
주요 사업내용을 안내해드립니다.
Porous Ceramic Chuck
Porous Chuck
- 일반적으로 세라믹 다공체 및 금속바디로 구성되며, 그림과 같이 Base 중심 홀을 통하여 전면에 고른 압력으로 흡착하는 구조
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Porous Ceramic 특성
- 산 및 알카리에 대한 내화학성
- 내마모성
- 내부식성
- 열충격에 강함
- 가공성 좋음
- 압력강도 및 평탄도 우수
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Porous Ceramic 용도
- 흡착 테이블( 다이 소, 그라인더, etc)
- 히터 테이블(본딩 기계, etc.)
- 스피너 테이블(다이 소, 레지스트 도포 장치, etc.)
- 절단장비(다이 본딩 기계, etc.)
반도체용 Chuck
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- 품명 : 330mm Porous chuck
- 대전 방지 처리 가능
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- 품명 : 200mm Porous chuck
- 대전 방지 처리 가능
디스플레이용 Chuck
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- 품명 : 사각 Porous chuck Table
- 대전 방지 처리 가능
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- 품명 : 사각 Porous chuck Table
- 대전 방지 처리 가능
