반도체 사업
주요 사업내용을 안내해드립니다.
Porous Cabon Chuck
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Porous Cabon Chuck 특징
- 웨이퍼 정전기 방지
- 고온 환경에 대응
- 경량화에 의한 장비 부담 감소
- 균일한 열 분포: 표면 ΔT ± 2.5℃ 확보
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Porous Cabon Chuck 용도
- 웨이퍼 표면보호 테이프 부착용 테이블
- 웨이퍼 표면보호 테이프 박리용 흡착 테이블
- 웨이퍼 검사 장비용 흡착 테이블
- UV 조사 장치의 흡착 테이블
- 웨이퍼 마운터 장치의 핸들링
- 웨이퍼 세정장치 스피너 헤드
- TSV 프로세스
- 다이싱 공정
- 백그라인드 공정
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제품 사양
| 재질 |
다공질카본 * 고강도 카본 |
다공질카본 * 그밖의 재질 |
| 사용압력 범위 |
-0.1 Mpa~0.1Mpa |
-0.1 Mpa~0.1Mpa |
| 사용온도 범위 |
~250℃ |
23℃~±20℃ |
| 제작 가능 치수(흡착면) |
Φ 450mm ~ □ 350mm |
Φ 450mm ~ □ 350mm |
| 제작 가능치수(두께) |
12mm~ |
15mm~(금속 재질의 경우) |
| 평탄도 |
10 ㎛ ~ |
5 ㎛ ~ |
| 코팅 |
○ |
협의 |
| 멀티패드 |
○ |
○ |
