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    반도체 사업

    주요 사업내용을 안내해드립니다.

    PDS ESC (Plasma Density Sensor Embedded ESC)
    플라즈마 밀도 센서 임베디드 ESC 시스템
    • 센서에 웨이퍼가 올려진 상황에서도 플라즈마 정밀 측정 가능 (세계최초 기술) 첨단소자의 양산 공정 중 웨이퍼 영역에서의 플라즈마 밀도 실시간 측정 가능
    공정 플라즈마 밀도 균일도 측정기술
    • 필요성: 반도체 공정 난이도 심화에 따른 플라즈마 밀도 균일도 측정 필요
    • 식각/증착/세정 등의 핵심공정에서 웨이퍼에 입사하는 플라즈마 밀도 양이 공정에 결정적 역할
    • 문제점: [상용 센서] 플라즈마 간접 측정 방식→측정 정밀도 이슈
    • 해결책: 기존 한계점 극복하는 평판형 플라즈마 밀도 센서 개발
    측정 원리
    • 플라즈마 주파수 측정으로 플라즈마 밀도 절대값 측정기술
    센서 구조
    측정 불확도 2%(세계 최고 수준)
    사양
    모델 Sensor Control Spec S.M Spec Switching Speed 비고
    PWPDS - 02P 2 300 kHz to 6 or 8.5 GHz operation
    High speed, up to 5500 dual-port S-parameters
    per second > 10 000 S11 + S21 per second
    Quad RX four-receiver architecture for best accuracy

    Up to 124 dB dynamic range at 10 Hz bandwidth
    0.005 dB RMS trace noise at maximum bandwidth
    of 140 kHz
    SP-DT 6ms  
    PWPDS - 05P 5 EMR 6:1 6ms  
    PWPDS - 09P 9 EMR 6:12 Slot 6ms  
    PWPDS - 12P 12 EMR 6:12 Slot 6ms  
    PWPDS - 24P 24 EMR 6:14 Slot 6ms  

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