로고

(주)파웰코퍼레이션
로그인 회원가입
  • 사업소개
  • 반도체사업
  • 사업소개

    홈페이지를 방문해주셔서 감사합니다.

    반도체 사업

    주요 사업내용을 안내해드립니다.

    ESC/AlN Heater
    AIN ESC with Heater
    • 사업영역

    • 사업영역

    특징
    • 폭넓은 온도영역과 충분한 흡착력 확보
    • 커스터머 맞춤 제작/히터 설계
    • 전극의 열화에 의한 경시변화 없음
    • 세라믹 중공 구조와 세라믹스 회전축 대응 가능
    제품 용도/사양
    • 용도 : Semiconductor / PVD
    • ESC Size : 4” ~ 12”
    AIN Heater
    • 사업영역

    • 사업영역

    특징
    • 높은 열 전도율의 AlN 사용하여 뛰어난 온도 균일성
    • IR 카메라 및 TC 웨이퍼를 통한 특성검사 시설 보유
    제품 용도/사양
    • 용도 : Semiconductor / CVD / etc
    • Size : 4” ~ 12”

    QUICK
    MENU

    회사소개

    사업영역

    제품소개

    온라인문의

    공지사항

    질문과답변