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    반도체 사업

    주요 사업내용을 안내해드립니다.

    Porous Ceramic Chuck
    Porous Chuck
    • 일반적으로 세라믹 다공체 및 금속바디로 구성되며, 그림과 같이 Base 중심 홀을 통하여 전면에 고른 압력으로 흡착하는 구조
    Porous Ceramic 특성
    • 산 및 알카리에 대한 내화학성
    • 내마모성
    • 내부식성
    • 열충격에 강함
    • 가공성 좋음
    • 압력강도 및 평탄도 우수
    Porous Ceramic 용도
    • 흡착 테이블( 다이 소, 그라인더, etc)
    • 히터 테이블(본딩 기계, etc.)
    • 스피너 테이블(다이 소, 레지스트 도포 장치, etc.)
    • 절단장비(다이 본딩 기계, etc.)

    반도체용 Chuck

    • 사업영역
      - 품명 : 330mm Porous chuck
      - 대전 방지 처리 가능

    • 사업영역
      - 품명 : 200mm Porous chuck
      - 대전 방지 처리 가능

    디스플레이용 Chuck

    • 사업영역
      - 품명 : 사각 Porous chuck Table
      - 대전 방지 처리 가능

    • 사업영역
      - 품명 : 사각 Porous chuck Table
      - 대전 방지 처리 가능

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