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㈜파웰 코퍼레이션
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    ESC Controller
    • 반도체 및 디스플레이 제조 공정 등에서 기판을 하부 전극에 고정시키기 위한 목적으로 사용되는 정전척(ESC)用 전원장치
    기능
    • Arc Detecting 기능
    • RO Min Fault 기능
    • 출력 Reverse 사용
    • 부하 방전 기능
    • PC 프로그램 연동
    Type
    • Semiconductor
    • Display
    • Mobile
    제품 사양
    Model PSES-50250PB PSES-50500PB PSES-24300PB PSES-50250PB-2c
    입력특성 정격입력 전압(VIN) DC 24 V
    최대입력전류 Vin: DC 24V, 4A max Vin: DC 24V, 4A max Vin: DC 24V, 1A max Vin: DC 24V, 8A max
    정격 입력 전압 범위 DC21.6~26.4V(±10%) DC21.6~26.4V(±10%) DC23.52~24.48V(±2%) DC21.6~26.4V(±10%)

    출력특성

    정격 출력전압 +2500V~ -2500V/2ch +5000V~ -5000V/2ch +3000V~ -3000V/1ch +2500V~ -2500V/2ch*2(DUAL)
    정격 출력전류 Max 10mA Max 5mA Max 4mA(Default 4mA) Max 10mA
    정격 출력전력(Po) Max 50W Max 50W Max 12W Max 50W
    정격 출력전력 변동범위 평균 출력전력의 ±5%이내 평균 출력전력의 ±5%이내 평균 출력전력의 ±5%이내(1,000V~3,000V) 평균 출력전력의 ±5%이내

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